MAGBOT磁悬浮智能输送系统

6D运动  360°旋转 多个动子

飞秒激光标准台

高精度 非接触加工 高光洁度

高精度气浮转台ABRS-200

高精度 低误差 高效能

CGMS-15间隙测量系统

无接触测量 可靠 高精度

TC-Wafer晶圆测温系统

耐高温 实时性 可视性

三轴气浮转台

高精度 无污染 高稳定

磁栅位移传感器

低误差 高精度 高稳定

智能安防监火设备

多模态感知 实时预警 闭环处置