产品概述

本团队自主研发的飞秒激光标准台,是集成高性能与超高精度的工业级加工设备。设备依托飞秒激光脉冲技术,在材料表面或内部实现微米级结构制备,具备极高峰值功率与超短脉冲持续时间。广泛适用于各类精密材料微加工场景。

设备搭载气浮精密运动平台,依托气体动静压效应,实现无摩擦、无振动的平稳运动,具备优异的导向精度。导轨采用气体非接触润滑方式,摩擦系数极小,有效降低设备驱动功耗,磨损小且使用寿命长。

得益于气浮导轨独有的误差均化效应,平台可在合理制造精度条件下实现更高等级运动导向精度,平衡性能与成本优势。同时气膜厚度几乎不受运行速度影响,低速运行无爬行现象,全程运动平顺,重复定位精度表现突出。

产品参数

参数类别 指标 备注
性能指标 装备定位精度 ±0.2µm
直线运动误差 0.05µm / 100mm
运动范围(X/Y/Z) 300×300×30mm
TGV通孔直径 10µm
通孔间隙 <0.5µm
结构深宽比 Aspect ratio
可加工材料 石英、玻璃、陶瓷、半导体、绝缘体、聚合物、树脂、金属等

产品优势

01
精度高

基于气体动静压效应,实现无摩擦、无振动的平滑运动,有效提升TGV加工中的超精密运动控制能力,具备极高的导向精度。

02
非接触

导轨面气体润滑,摩擦系数极小,大大降低了工作设备的驱动功率。且导轨磨损小寿命长。

03
误差低

气浮导轨的误差均化作用使得其可以用较低的制造精度获得较高的导向精度。

04
运动平稳

气膜厚度几乎不受速度影响,即使在极低速时也不会产生爬行,运动平稳,重复定位精度高。

05
分辨率强

可将光束整形为贝塞尔光束,有效提升微加工分辨率。

06
可视化操作

上位机软件具备X、Y、Z轴实时坐标和速度以及实时显示加工轨迹功能。

应用场景

本产品主要应用于医学领域、工业精密加工领域、科研实验领域以及激光打孔显微镜扫描等场景,为高精度微加工提供可靠的解决方案。

医学领域

医学领域

用于医疗设备制造、生物芯片加工、医疗器械精密打孔等,实现高精度医疗器件的微加工。

工业精密加工

工业精密加工

在半导体、微电子、光学器件等领域,进行微米级微孔加工、精细切割和表面改性处理。

科研实验

科研实验

为科研机构提供高精度微加工平台,支持材料科学、光学研究、纳米技术等前沿领域的实验需求。

激光打孔

激光打孔

实现各种材料的微孔、小孔和细孔加工,适用于喷丝板、过滤材料、精密模具等行业。