产品概述
柔性化磁悬浮智能输送系统是飞米自主研发的高端智能输送平台。系统利用磁悬浮驱动与高精度无接触定位技术，可实现晶圆等精密物料在二维平面内的六自由度精确定位与高速平稳运动，运行全程无接触、无摩擦、无线缆束缚。系统采用模块化设计可像拼图一样自由扩展灵活组合，并支持多载具的独立并行运转与智能协同调度。方案彻底摒弃传统机械接触传动结构，从源头消除运行过程中产生的颗粒污染与振动源，同时突破流水线布局限制，显著提升产线布局柔性。
产品落地场景多元：面向半导体、光伏、生物医药设备制造商，可作为其高端工艺设备的内部核心传输模块，同时，针对追求产线之恶能化升级的先进制造工厂，本产品可为其提供柔性产线物流的整体解决方案。凭借高柔性、高精度、高灵活性等核心特性，完美适配高端精密制造严苛工况，大幅提升了生产线的柔性化和智能化水平，推动制造业向更高效、更精密、更智能的方向发展。
动子独立运动 / 微米级定位精度 / 零磨损 / 自由度精准运动 / 灵活扩展
产品参数
产品优势
柔性生产适配
可以批量实现不同产品运输，帮助企业同步生产不同规格的产品。
模块化设计
动子模块可拼接使用，可以柔性应对不同生产场景及产品需求。
高精度定位
系统具有很高的定位精度，可以为每个产品路径单独确定几何形状，实现加工过程中的精确定位。
无接触免维护
系统整体无接触、无摩擦，无线缆束缚，极大程度降低运营和维护成本。
应用场景
生物医药领域
在无菌灌装、细胞治疗等场景中，传输药品、培养皿等，绝对避免污染风险。
半导体加工领域
用于PECVD、刻蚀机等设备的真空装载腔，实现晶圆在腔室间的无污染、高精度快速搬运，直接替换传统机械手部分功能。
新能源光伏领域
在半导体、光伏电池、显示屏的组装与测试环节，连接不同工站，实现物料盒（FOUP）或单个工件的柔性路由与精准对接。
工业制造领域
在3C电子、汽车零部件、食品包装等产线中，替代传统皮带/链条线，实现工位间物料的独立控制、高速分拣与柔性编组，大幅提升产线换产效率和调度灵活性。