产品概述

高精度气浮转台是一种基于气浮技术的高精度转台。该转台集成了先进的控制算法、性能优异的电气传感部件及高精度的机械结构。可在使用过程中具有良好的轴向、径向和倾摆误差运动性能,以及卓越的旋转精度和重复性。

同时,转台核心采用空气轴承技术,回转过程振动极低,可有效提升精密加工品质与检测准确度。并且台面支持360°连续回转,可根据测试需求配置闭环伺服控制或速率模式,灵活适配多种测试工况。

该转台可广泛应用于精密计量、光学测试、半导体检测及超精密加工等场景,可为高精度角度标定、多维形貌测量提供稳定可靠的运动基准。

高精度气浮转台

产品参数

参数类别 指标 规格值
基本参数 转台直径 200mm
行程 360°连续
定位精度 ±1"
重复定位精度 ±0.5"
分辨率 0.02"
误差运动 倾角误差 0.2"
轴向误差 <80nm
径向误差 <80nm
运动性能 最大转速 800rpm
峰值扭矩 9.35N·m
连续扭矩 2.34N·m
负载能力 轴向负载 70kg
径向负载 50kg
倾摆负载 60N·m
其它参数 气压 0.6MPa
材料 阳极氧化铝
转动惯性 0.0308kg·㎡
质量 27.5kg

产品优势

01
高精度

ABRS系列转台能够提供几乎无摩擦的旋转环境,因此可以实现极高的定位精度和重复定位精度。定位精度±1",重复定位精度±0.5"。

02
低误差

ABRS系列转台采用了空气轴承技术,获得了优异的回转性能,径向与轴向误差运动值均优于80nm,为高精度加工与测量提供稳定保障。

03
高效能

ABRS系列转台在旋转过程中几乎无震动,提高了加工质量及测量准确性。气浮系统反应迅速,可以在短时间内达到所需旋转速度,同时也能快速停止。

04
高稳定

ABRS系列转台可承受较大的重量,并且保持稳定的性能,采用精密气浮技术,减少了零件的磨损,延长了使用寿命。

应用场景

工业自动化领域

工业自动化领域

应用于高端自动化产线精密视觉检测、零部件多角度精密装配、三维轮廓扫描工位。

半导体加工领域

半导体加工领域

应用于角度检测模块、姿态采集设备、智能传感组件的性能测试与精度校准。

精密加工领域

精密加工领域

用于精密工装夹具、旋转工作台、精密回转零部件的角度精度校验、同轴度与回转精度检测,同时可完成精密加工配套检测器件、机床姿态传感模块的标定校准。

航空航天领域

航空航天领域

用于航空航天零部件超精密加工及航天传感器、惯性元件地面姿态模拟与精度标定。