产品概述
CGMS电容间隙测量系统是飞米基于高精度电容传感技术研发的非接触式间隙测量装置，能够灵敏捕捉金属被测件表面的距离变化，实时采集并输出多点间隙的测量数据。系统具备测量精度高、量程范围宽、响应速度快、运行稳定可靠等优势。系统支持多点同步采集，精准量化平行度偏差。面向半导体薄膜沉积、溅射、蚀刻等工艺场景，可高效完成腔体间隙测绘与设备平行度调校，优化工艺均匀性，有效提升产品良率、机台稼动率及工艺重复性。
应用广泛除半导体加工行业外，还覆盖工业自动化生产线、汽车精密零部件制造、新型显示设备生产等高端制造场景，能够为设备装机调试、性能标定及产线在线监测，提供精准可靠的量化数据支撑，是精密制造领域间隙检测与工艺优化的重要测量方案。
产品参数
产品优势
无接触
利用电容传感技术，无需与被测物体直接接触，避免了因接触导致的磨损、损坏或污染。
高精度
CGMS可以实现±0.020mm的测量精度；能够提供高重复性的测量结果，保证每次测量的一致性。
可靠性高
外壳采用阳极氧化铝，坚固耐用稳定性好，适用于多种环境，单次充电可使用8小时以上的连续测温。
快速性
能够快速完成间隙测量和平行度检测，测量速度快，适合动态测量。
操作简便
支持自动处理，可加速设备设置维护与故障排除，节省时间和人力；上位机可实时显示数值与图形数据，便于快速识别是否在目标范围内。
应用场景
CGMS电容间隙测量系统广泛应用于机械制造、半导体加工、汽车制造、屏幕制造等领域，为各行业的精密测量提供可靠解决方案。
机械制造领域
精密回转零部件、制动盘、传动构件在线检测，测量端面平行度、轴向间隙与跳动，保障装配精度，降低设备运行磨损。
半导体加工领域
晶圆平台间隙、载台平行度校准，实现晶圆加工、键合、光刻工位精密间隙监测，无接触不污染晶圆，稳定半导体工艺良率。
汽车制造领域
制动盘、新能源电机、车身零部件自动化产线质检，在线检测间隙与平面度，严控零部件加工与装配质量。
屏幕制造领域
显示基板、光学玻璃贴合工序间隙和平行度检测，防止基板划伤，提升面板贴合工艺品质，减少贴合缺陷。